Le débitmètre massique à faible débit et le contrôleur de débit de la série SRK-DL peuvent mesurer un débit de gaz ultra bas aussi bas que 2 sccm (2 ml/min). Le débitmètre à très faible débit est couramment utilisé dans diverses applications telles que la chromatographie en phase gazeuse, l'analyse des gaz, la recherche en laboratoire et les processus industriels où des mesures précises du débit de gaz sont nécessaires, il peut être utilisé comme débitmètre d'oxygène à faible débit, débitmètre d'air à faible débit, débit compteurs pour les applications à faible débit d'azote (N2), débitmètre à très faible débit pour le biogaz, débitmètre à ultra faible débit pour le CO2, etc.
Principe de fonctionnement du débitmètre/régulateur de débit de gaz thermique à faible débit
Le contrôleur de débit massique à faible débit se compose d'un capteur de débit massique à faible débit, d'un dispositif de stratification à flux laminaire, d'une vanne de régulation du contrôleur de débit et d'un circuit de commande d'amplification. Il est réalisé en utilisant l'effet de distribution de transfert de chaleur du fluide en circulation pour modifier la distribution de température de la paroi capillaire mesurée.
Ce contrôleur de débit massique à faible débit utilise le principe de la calorimétrie à température différentielle avant et après le transfert de chaleur capillaire pour mesurer le débit massique de gaz aussi bas que 2 sccm, indépendamment de la température et de la pression. Amplifiez le signal de débit mesuré par le capteur, puis comparez-le à la tension réglée. Utilisez la différence pour piloter la vanne de régulation de contrôle et contrôler en boucle fermée le débit à travers le canal pour le rendre égal au débit défini.
Spécifications du débitmètre/régulateur de débit à faible débit
- Plage de débit de gaz : 2 SCCM ~ 30 SL/M, tels que 100 ml/min, 200 sccm, 1 LPM, 2 SLM, 5 litres/minute, 20 SLPM.
- Turn Down Ratio : 50:1 pour le contrôleur de débit massique numérique ; 100:1 pour débitmètre massique numérique ;
- Précision : ± 1% PE
- Linéarité : ± 0,5 % PE
- Répétabilité : ± 0,2 % FS
- Temps de réponse : régulateur de débit massique < 2 s ; débitmètre massique <0.8s
- Communication : RS232/485.MODBUS
- Sortie : 0~5V,4-20mA,1-5V
- Source de courant : ±15 VCC, 24 VCC
- Température de fonctionnement : 0~50°C
- Pression de fonctionnement maximale : 3MPa/10MPa
- Matériau du capteur de débit massique ou du régulateur de débit : Acier inoxydable
- Raccord process débitmètre bas débit : Φ3, Φ6, 1/8”, 1/4”
