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				 Specification  | 
			
				 Digital Mass flow controller  | 
			
				 Digital Mass flow Meter  | 
		
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				 Range  | 
			
				 2 SCCM~ 30 SL/M  | 
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				 Turn Down Ratio  | 
			
				 50:1  | 
			
				 100:1  | 
		
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				 Accuracy  | 
			
				 ± 1% F.S  | 
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				 Linearity  | 
			
				 ± 0.5% F.S  | 
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				 Repeatability  | 
			
				 ± 0.2% F.S  | 
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				 Response Time  | 
			
				 < 2s  | 
			
				 <0.8s  | 
		
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				 Communication  | 
			
				 RS232/485.MODBUS  | 
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				 Output  | 
			
				 0~5V,4-20mA,1-5V  | 
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				 Power Supply  | 
			
				 ±15VDC,24VDC  | 
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				 Operation Temperature  | 
			
				 0~50°C  | 
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				 Operation Pressure  | 
			
				 Operation DP:0.05~0.5Mpa  | 
			
				 Operation pressure drop: <0.01Mpa  | 
		
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				 Max operation pressure  | 
			
				 3MPa/10MPa  | 
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				 Electrical Interface  | 
			
				 DB15  | 
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				 leak rate  | 
			
				 1×10-9SCCSHe  | 
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				 Temperature coefficient  | 
			
				 ±0.025%F.S/°C  | 
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				 Base material  | 
			
				 Stainless steel  | 
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				 Seal Material  | 
			
				 Viton, neoprene, nitrile rubber  | 
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				 Connector  | 
			
				 Φ3,Φ6,1/8”,1/4”  | 
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