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En production industrielle, l'azote (N2) est l'un des gaz de protection, de purge et de transport les plus couramment utilisés. Pour une utilisation précise, stable et reproductible de l'azote, un régulateur de débit massique d'azote (N2 MFC) est nécessaire.
Vous comprendrez rapidement ici son objectif, ses principes et ses paramètres clés, ce qui vous permettra de choisir plus facilement un régulateur de débit massique N2 adapté.
Les régulateurs de débit massique d'azote sont largement utilisés dans les situations suivantes :
Industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque : Contrôle précis du débit d’azote dans les procédés de dépôt de couches minces (CVD/PVD), de four de diffusion, de gravure et de recuit
Découpe et soudage laser : en tant que gaz auxiliaire, le contrôle de la stabilité du flux d’azote influe directement sur la qualité de la section de découpe.
Conditionnement alimentaire (emballage sous atmosphère modifiée) : dosage précis d'azote dans la machine d'emballage
Production de batteries au lithium : approvisionnement en azote pour la salle de séchage des cellules et l’atelier d’injection
Four de traitement thermique : contrôle du rapport de mélange d'azote, d'hydrogène et d'argon dans un traitement thermique sous atmosphère contrôlée
Instruments de laboratoire et d'analyse : gaz vecteur et gaz de purge pour chromatographie en phase gazeuse (CPG) et spectromètre de masse
Réacteur chimique : protection par gaz inerte et déplacement du réacteur
Impression 3D (fabrication additive métallique) : maintien d'une atmosphère d'azote dans la chambre de formage
Si votre procédé nécessite un débit d'azote « reproductible et non affecté par les fluctuations de température et de pression », alors un régulateur de débit massique est plus approprié que les débitmètres à rotor et les débitmètres à flotteur traditionnels.
Le régulateur de débit massique N2 principal adopte le principe thermique (diffusion thermique capillaire).
En résumé, le principe de fonctionnement repose sur la circulation d'une faible quantité d'azote dans le tube capillaire du capteur, entouré de deux résistances chauffantes. Le passage du gaz absorbe de la chaleur, ce qui induit une variation de la différence de température entre les résistances en amont et en aval, proportionnelle au débit massique. Le contrôleur compare le signal du capteur à la valeur de consigne, puis actionne l'électrovanne proportionnelle afin d'ajuster son ouverture jusqu'à ce que le débit réel corresponde au débit de consigne.
Les avantages du principe thermique sont les suivants :
Mesure directe du débit massique (en sccm, slm, kg/h) sans compensation supplémentaire de température et de pression
Rapport de plage étendu, contrôle précis même pour les faibles débits
Réponse rapide, généralement stable en 1 à 2 secondes
C’est également la principale différence entre cet appareil et un « débitmètre volumétrique » : le débit massique ne dérivera pas en raison des variations de température et de pression sur site.
| Plage de débit | 0-10 sccm à 0-1000 slm (personnalisable pour des plages plus larges) |
| Précision | ± 1,0 % PE (étendue complète) ou ± 1,0 % ED (lecture) |
| Répétabilité | ± 0,2 % F.S. |
| temps de réponse | ≤ 2 |
| Pression de service | Pression standard de 0,3 MPa, personnalisable jusqu'à 10 MPa |
| Température de fonctionnement | 0-50 °C |
| Connexion au processus | Raccord à compression, bride, vis, magnétoscope ou autres |
| Sortie de signal | 0-5 V, 4-20 mA, RS485 (Modbus RTU) |
| Type de vanne | vanne proportionnelle électromagnétique (principalement normalement fermée) |
| Sens du flux | peut être installé horizontalement ou verticalement |
Lors de votre sélection, il est recommandé de fournir les informations suivantes afin de faciliter notre recommandation des modèles adaptés :
Votre candidature réelle
Plage de débit maximale et minimale réelle
Pression d'entrée et contre-pression de sortie
Pureté du gaz (azote ordinaire ou azote de haute pureté)
Avez-vous besoin d'une interface de communication (station d'accueil pour automate programmable) ?
Taille de l'interface et méthode d'installation
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